一 “中华民国临时政府”出笼
在日本建立傀儡政权的初期，北洋政府时代的遗老成了日本选择的主要对象。这些离开政坛多年的失意政客在日本的引诱下以不光彩的方式重返政坛。
1937年7月30日，即北平弃守的当天，在日军特务机关的指使下，北洋遗老、曾在北京政府代理过国务总理的江朝宗便网罗了一批亲日分子，组织起“北平市地方维持会”。但由于此时日军并未进入城内，北平治安由第29军部队改编的两个保安团维持，江朝宗未敢正式就任维持会主席职。8月6日，日军进入北平。9日，江朝宗正式出任维持会主席。18日，江朝宗就任北平市市长。
日军于7月30日占领天津。次日，天津市地方维持会成立，曾任北京政府财政总长和内务总长并曾一度摄行总统职务的高凌出任天津维持会长。
9月23日，平、津两市的地方维持会联合组成“平津治安维持联合会”，以高凌霨为主席。维持会毕竟仍只是一个临时机构，日本准备进而组织伪华北政权。早在8月14日，关东军司令部制定的《对时局处理大纲》便已提出了建立傀儡政权的目标，但该政权的性质此时仍定性为独立于南京政府的地方“自治政权”。《大纲》称：“华北政权大致以五省自治为最终目标，先将河北及山东二省（将来包括山西）组成一个政权”。10月1日，日本内阁确定的《处理中国事变纲要》提出：“对华北作战的后方地区的措施，应排除占领敌国领土的观念”，不实行占领区式的行政，而由当地居民组成政治机关，“但必须加以指导”。日本政府方面已明确了通过扶植傀儡政权来进行统治的原则。
随着日军在战场上的进展和占领区的扩大，华北日军对华北政权将要扮演的角色的设想开始发生变化，他们已不再满足于将其作为一个地方政权，而是要作为一个取代国民政府的中央政府，统辖全部占领区。10月28日，日本华北方面军特务部在一份《关于建立华北政权的研究》的报告中提出：“北方应当树立的新政权，不是作为华北地方政权，而是作为取代南京政府的中央政府，使其政令普及到日本军势力范围内的全部地区。”关东军对此则有不同看法，主张暂不急于成立统管各地的中央政府，而是先建立具有政府基本特征的联省政府。东京的军部赞成华北方面军的设想。10月30日，日本陆军省军务课提出：“应扩大强化华北政权，并指导使之成为新生的中国中央政府，以谋求在这一地区开发产业，促进贸易，恢复治安和安定，借以使中国的新生从华北而遍及全中国。”
日本华北方面军特务部展开了找寻伪政权头面人物的活动，其主要对象大都为北京政府时代的政客，有王克敏、汤尔和、王揖唐、董康等。时在香港的王克敏是日方要策动的主要人物，他早年曾任清政府驻日公使馆参赞，后三度出任北京政府的财政总长；汤尔和曾任北京政府教育总长、内务总长及财政总长等职；王揖唐曾任北京政府内务总长、众议院议长；董康曾任北京政府大理院院长、司法总长等职。12月7日，王克敏随华北日军特务部总务课长根本博大佐来到北平，与汤尔和等人商讨组织伪政权问题。
北平伪政府原计划在1938年1月1日成立，但12月13日日军攻陷中国的首都南京后，狂妄地认为这标志着国民政府的溃灭，遂将伪政府的成立日期提前，把傀儡政权迅速推上舞台。日军特务部原来设想新政府实行总统制，由于未能找到可以担任“总统”的合适人选，“大总统”席位空缺，政府名称也不得不定为“临时政府”。12月14日，即南京沦陷的次日，“中华民国临时政府”在中南海居仁堂宣告成立。临时政府在其成立宣言中指责国民党“构衅邻邦，同种相噬”，声称临时政府要“发扬东亚道德，辑睦世界友邦，开发产业，使民生向上，厘定权责，使中外相安。”
这一由北京政府时代的政客组成的政权，以承继北京政府的法统相标榜，盗用“中华民国”年号，以北京政府时代的五色旗为“国旗”，以“卿云歌”为“国歌”。“临时政府”设行政、议政、司法三个委员会。王克敏任行政委员会委员长，汤尔和任议政委员会委员长，董康任司法委员会委员长。伪政府的主体为行政委员会，王克敏兼行政部长，汤尔和兼文教部长，齐燮元任治安部长，朱深任法制部长，王揖唐任灾区救济部长。
“临时政府”成立后不久，国民政府即于12月20日发表声明，指出其傀儡性质。声明指出：日本“袭用在我东北四省与冀东各县故伎，胁诱不肖之徒为其爪牙，在非法占领之北平设立伪组织，僭称‘中华民国临时政府’。该项伪组织完全为日本之傀儡，其参加此项组织人等，自应以国法惩处。”国民政府并郑重声明：“在日本军队占领之北平或其他地方，发现任何伪政治组织，皆为日本侵犯中国主权及行政完整之暴行，其一切行为，对内对外当然无效。”同日，国民政府发布通缉附敌汉奸令：“凡在日军非法占领区域甘心附敌参加伪组织者，着军事委员会按照汉奸治罪条例，查明通缉，严行惩办。”
12月24日，日本内阁会议通过《处理中国事变纲要》，表示要扩大和加强“临时政府”，“使它成为重建新中国的中心势力”，“不仅要使它取得在华北的信誉，并且要使它取得在华中、华南方面的信誉”。“临时政府”所统辖的范围，决定依军事行动进展的程度而定，最初大致定为河北、山东、山西及察哈尔的一部分。为了加强新政权的权威，上述省境内原有伪组织陆续取消，并入新政权。12月17日，北平地方维持会宣告结束，其所有事务都将由“临时政府”接收。1938年2月1日，早在1935年11月便成立的冀东防共自治政府也宣告取消，其所属22县划归伪河北省政府管辖。
临时政府统治地区随着日军占领区域的扩大而有所扩大，至1938年3月，已辖有河北、河南、山东、山西四省及青岛特别市。高凌任河北省省长，萧瑞臣任河南省省长，马良任山东省省长，苏体仁任山西省省长，赵琪任青岛特别市市长。省以下分设道，以道尹主事；道以下设县，以知事主事。1938年4月，行政委员会各部部长改称“总长”，取消灾区救济部，增设了实业部、财政部、内政部等部门。
临时政府尽管还挂着中华民国的旗号，但它完全是听命于日本军方的一个傀儡政权。与伪满洲国的日本次长实权制不同，临时政府并未由日本人直接出任政府各部要职，日本通过其派遣的顾问从内部实行控制。对此，《处理中国事变纲要》曾明确规定：“在制定政策大纲方面由日本顾问进行内部指导，不安排日方官吏对行政的细节进行指导和干涉。”
王克敏上台前曾与日方订立一密约，该密约规定：一、华北矿产完全归日本人开发经营；二、临时政府最高指挥权及行政设施，悉由日本人计划；三、军队指挥调动，完全由日本人主持；四、教育亦由日本人计划指导，俾走上亲善之路，等等。伪临时政府登台后履行了这一密约。1938年4月，华北日军与临时政府签订关于政府顾问的《约定》。《约定》及《附属约定》规定：由华北日军派遣顾问及辅佐官，对行政、法制、军事、治安及警务等事项协力支援；凡设有顾问的各部会及省市，“如遇顾问担任事项中之重要事项，应该对该顾问率直相谈后，再行办理”，亦即所有重要事项须征得顾问同意后方得办理；临时政府“所需专员技术官、教授、教官、教导官等，由日本军最高指挥官推荐，任用或聘请日本人充任之”。
由什么人担任顾问及所派顾问的人数，则完全由日军司令官决定，用不着通常外交上所采用的“征求意见”。担任临时政府行政顾问的汤泽三千男曾直言不讳地说；临时政府的政务，不经顾问同意不得实施。他把日本顾问比做“带着饭盒不请自来的管家”，就像日本幕府时代的“钦派总管”。因此，通过顾问制度，临时政府完全处在华北日军的掌控之中。
二 “中华民国维新政府”出笼
在华东地区，日军所到之处也陆续扶植成立了一些地方伪组织。1937年9月23日，在上海宝山建立了第一个伪“自治委员会”。12月5日，以汉奸苏锡文为首的伪上海“大道市政府”在上海浦东地区成立，但这一名称不伦不类的所谓政府并无完整的组织机构。1938年1月1日，南京自治委员会和杭州治安维持会宣告成立。到1月下旬，在江浙地区成立的地方维持会共达26个。
日本方面早有成立华中政权的构想。1937年12月，日本内阁就曾提出：在上海地区，“考虑在时机成熟时，建立与华北新政权有联系的新政权”。日本起初计划将这一政权作为临时政府的地方政权。1938年1月27日，日本陆军省第一厅拟定了《华中新政权建立方案》。方案设想：新政权的名称为“华中临时政府”，地点先设在上海，以后再迁往南京；旗帜为五色旗。但日本华中派遣军反对这一构想，他们不同意将华中政权视为从属于临时政府的地方政权，而要把它搞成一个“新中央政府”。2月28日，华中派遣军决定：华中新政府将于3月16日成立，其名称为“中华民国新政府”。华中派遣军的这一决定，是要把其建立的“新政府”置于中央政府的地位。这一计划遭到了华北方面军的坚决反对。因此，东京军部决定推迟华中新政权成立的日期。
在对华中和华北日军的意见作了通盘考虑后，日本政府于3月24日制定出《调整华北及华中政权关系要领》。《要领》规定：“华中新政权是作为一个地方政权成立，以中华民国临时政府作为中央政府，尽快使其合并统一。”但在《谅解事项》中又表示：日本虽然以“临时政府”为中央政府，但只是作为中国各地政权指导上的原则而规定的，至于是否承认它是“中国的中央政府”，应另行考虑决定。其所以要另行考虑决定，除了日伪内部各势力之间的矛盾需要调整外，更重要的是国民政府仍然存在，能否击垮国民政府仍不明朗，因此，是完全撇开国民政府，还是争取其中的一部分脱离出来参与组织傀儡政府，尚未定局，需根据形势的发展而定。
在日本政府的这一政策之下，日本华中派遣军不得不放弃了原来的主张，同意将华中新政权定位为一个统治苏、浙、皖三省的地方性政权。新政权的名称为“中华民国维新政府”。“维新政府”的构成与“临时政府”稍有不同，其头面人物不只有北洋余孽，还有来自国民党阵营的失意政客，如梁鸿志为北洋官僚，曾任北京执政府秘书长；温宗尧则为广东军政府时期的外交部长，并为军政府七总裁之一；陈群曾任国民政府内务部次长兼首都警察厅长。日方起初还曾策动资历和名气更高的民国初年的国务总理唐绍仪出山，但因唐绍仪犹豫不决而未能实现。
3月28日，“中华民国维新政府”在南京原国民政府大礼堂宣告成立。“维新政府”在其成立宣言中指责中国人民的抗战是“自戕”；称其唯一使命“在使领土主权，复现战前状态，与邻邦尊俎折冲，归于敦睦，使国人免锋镝之苦”。维新政府宣布其统治区域为江苏、浙江、安徽三省及上海、南京两个特别市，并声称将来还要包括其他华中和华南地区。维新政府的口气虽然很大，但在成立后最初几个月里却只能在日军保护下的上海虹口新亚饭店设所办公，被人笑称为“饭店政府”。6月下旬，各组织机构才陆续迁往南京。10月1日起，维新政府正式在南京开张。
维新政府虽已定位为地方性政权，但其组织机构的设置却采用了中央政府的构架，分设行政院、立法院和司法院。梁鸿志任行政院院长，温宗尧任立法院院长。由于预定为司法院长的章士钊拒绝出任该职，一时又无适当人选，只得将司法院院长一职空缺。行政院下设外交部、内政部、财政部、绥靖部、教育部、实业部、交通部及代管的司法行政部。以梁鸿志、温宗尧、陈群等三人为首组成的议政委员会，为最高议政机关。
维新政府成立后，华中各地的伪政权也陆续成立。1938年4月，南京市政督办公署成立，原“自治委员会”取消；9月，南京市政公署改为南京特别市政府，高冠吾任市长。4月，上海“大道市政府”改为上海市政督办公署；10月，上海市政督办公署又改为上海特别市政府，傅宗耀任市长。5月，伪江苏省政府成立，陈则民任省长。6月，伪浙江省政府成立，汪瑞闿任省长。10月，伪安徽省政府成立，倪道烺任省长。
与华北的临时政府一样，维新政府同样为日本顾问所操纵。1938年8月上旬，日本华中派遣军特务部部长原田熊吉与梁鸿志以交换函件的方式订立了一份关于派遣顾问问题的《约定》，其内容与临时政府所签《约定》并无两样，同样规定日本顾问由日军司令官派遣，无须征求维新政府方面的意见；未经日本顾问协议，维新政府不得施行其政务等。12月，华中派遣军取消特务部，原田熊吉专任维新政府最高顾问。到1939年7月，在维新政府各部门任职的日本顾问有27人之多。维新政府在各方面都处于日方的完全控制之下。
三 “蒙疆联合自治政府”出笼
在日本华北方面军和华中派遣军陆续建立从属于自己的傀儡政权之时，另一支从东北入关的具有丰富的扶植伪政权经验的日本关东军也在不断上演其操纵傀儡的拿手好戏。1937年8月27日，日军占领张家口后，即于9月4日成立了下辖10县的“察南自治政府”。“自治政府”设政务委员若干，以于品卿、杜运宇二人为最高政务委员，负责主持行政。下设总务处、民生厅、财政厅、保安厅及民政厅。日人竹内元平担任“自治政府”的最高顾问，各处、厅也都设有日本顾问，操纵着“自治政府”的一切政务。
10月15日，日军又在山西大同扶植成立了辖有晋北13县的“晋北自治政府”。伪政府设民生厅、教育厅及财政厅。清末举人夏恭出任伪政府主席，日人前岛升任最高顾问。
10月14日，日军占领归绥（今呼和浩特）。10月18日，“第二次蒙古大会”召开，决定将此前已成立的“蒙古自治军政府”改建为正式政府。28日，“蒙古联盟自治政府”在归绥宣告成立，并将归绥改名为“厚和”。原军政府主席云端旺楚克（云王）任新政府主席，原军政府总裁德穆楚克栋鲁普（德王）任副主席。“自治政府”设有政务院、参议会和政务委员会。德王兼任政务院院长。政务院下设政务部、财政部和保安部。“自治政府”下辖五个盟和两个特别市。1938年4月，云王病逝，德王继任主席，并仍兼政务院院长，伪蒙古军总司令李守信任副主席。“蒙古自治政府”同样被日本顾问所控制，日人宇山兵士为伪政府的最高顾问。
为便于加强控制和统一指挥，关东军策划将察南、晋北及内蒙这三个伪政权联合起来。11月22日，在日人金井章次的召集下，这三个伪政权的首脑人物在张家口召开会议，成立了“蒙疆联合委员会”。“联合委员”会下设总务、交通、金融、产业委员会。从组织建制上看，“联合委员会”此时尚未成为统管所有重要事务的政府机构，而只是一个协调性机构。
联合委员会在其成立的当天便致函关东军，请关东军对联合委员会给予指导。该函称：委员会的政务须适应占领地的军事要求，因此，“请求贵军给以大力协助，并特请贵司令官在幕后指导方面给予深切的关怀”。该函请关东军司令官推荐“日满两国人员”担任顾问、参议及委员会的主要成员，并表示“本委员会所管理及统辖的重要交通和重要产业，根据需要，可委托贵司令官指定日满各机关分别经营，或合并经营”。25日，关东军复函，表示将“尽力予以协助”。联合委员会设日籍最高顾问一名、日籍参议及顾问若干名，并规定：“联合委员会的决议，必须通过有关委员、最高顾问及有关顾问的协议”。日人金井章次任联合委员会最高顾问，并代行总务委员长职。
此后，关东军逐渐强化“蒙疆联合委员会”。1938年8月1日，联合委员会改组，原有的三个委员会改为部，并增设新部。改组后的联合委员会下设总务委员会和总务部、产业部、交通部、民生部和治安部等五个部。德王任联合委员会委员长，金井章次仍任最高顾问并代总务委员长。联合委员会由三个伪政权的协调机关逐步强化为领导机关。
1939年8月，日本驻蒙兵团决定进一步推进伪政权的统一，将“联合委员会”正名为“联合自治政府”。9月1日，“蒙疆联合自治政府”在张家口宣布成立。与“联合委员会”比较起来，“联合自治政府”拥有了更大的权力。原来一直存在的三个“自治政府”至此取消，“察南自治政府”改为“察南政厅”，“晋北自治政府”改为“晋北政厅”，“蒙古联盟自治政府”所属各盟则直属“蒙疆联合自治政府”管辖。新政权并规定了统一的旗帜和年号，以“黄蓝白赤白蓝黄”旗为旗帜，以“成吉思汗”纪元为年号，以公元1939年为成吉思汗734年。
“蒙疆联合自治政府”以德王为主席，于品卿、夏恭为副主席，下设政务院、参议府、最高法院等。政务院下设总务、民政、保安、财政、产业、交通、司法七部及牧业总局。金井章次任伪政府的最高顾问。与华北和华中的傀儡政权不同的是，日本人除了担任自治政府的顾问外，还可直接出任各级政府的官吏。这与伪满洲国更为接近。而其独特的年号和旗帜的使用，也显示了日本企图使蒙疆地区脱离中国版图从而成为第二个“满洲国”的意图。
四 傀儡政权的合流计划
当华中政权尚在策划成立中时，日本政府便已开始考虑促成华中和华北政权的合流，在此基础上再组建新的中央政府。在1938年1月11日的御前会议上，日本政府便作出决定：如果国民政府不接受此前日方通过德国驻华大使陶德曼提出的强硬的议和条件，“则今后帝国不以此政府为解决事变的对手，将扶助建立新的中国政权。”陶德曼调停失败后，日本方面便展开了建立所谓“新的中央政府”的有关活动。
这一活动包括两个方面的基本内容：一是促成占领区现有的傀儡政权的合流，以此为基础建立中央政府；二是促成国民政府的分化瓦解，建立包括国民政府要员在内的中央政府。这两者之间又存在着互相牵制的关系。日本政府很长时间内在这一问题上游移不决，无法作出以何者为先的决断，因此南北伪政权的合并一事虽有所行动，但进展很慢。
1938年4月，“维新政府”首脑梁鸿志等人及政府顾问原田熊吉曾北上北平，与“临时政府”首脑王克敏等及其顾问喜多诚一人就合并问题举行会谈。但双方在若干问题上分歧很大，会谈未能取得进展。
为推动建立新的中央政府的工作，日本政府于1938年6月设立“对华特别委员会”，展开所谓“对华政治谋略”工作。这一工作既包括对国民政府中一部分人的诱降，也包括策动沦陷区的更重要人物出马，以组建中央级的傀儡政权。为保证陆军、海军和外务省之间的协调，该委员会由三方各出一人组成，分别为陆军中将土肥原贤二、海军中将津田静枝及外务省顾问坂西利八郎。该委员会设在上海，对外称“土肥原机关”。
7月8日，日本内阁五相会议决定了《中国现中央政府屈服时的对策》和《中国现中央政府不屈服时的对策》两个文件。其方针是：如果国民政府对日投降，日本将把它作为政权的一部分合并于新的中央政权之中；如果国民政府不投降，则集中国力，尽一切努力将其击溃，或使其屈服。
7月15日，日本五相会议进一步提出了《建立中国新中央政府的指导方针》。该指导方针提出的步骤是：“尽快先使临时及维新两政府合作，建立联合委员会。其次，使蒙疆联合委员会与之联合。以后上述各个政权，逐渐吸收各种势力，或与他们合作，使之形成真正的中央政府。”对于联合委员会的机构组织及其权限，《指导方针》规定：（一）联合委员会应以临时、维新政府及蒙疆联合委员会三方代表组成，采取委员制，地点设在北平；（二）各地方政权的境界，仍维持现状；（三）各地方政权实行广泛的自治；（四）交通、通信、邮政、金融、海关、统税、盐税、文教及思想政策等共同事项，在联合委员会的统制下，由地方政权负责；（五）关于维持地方，在联合委员会统制下，由地方政权负责；（六）关于外交，其共同外交事项，是联合委员会的权限，与地方有关事项则由各地方政权处理。可以看出，各地方傀儡政权仍可拥有相当的权力。
8月下旬，华北与华中日军有关人员拟出联合委员会的成立方案。9月9日，日本五相会议据此确定了《联合委员会树立要纲》。同日，土肥原将华北、华中及蒙疆政权的首脑及三方的日军代表召集到大连，商讨合流问题。但是，日本关东军强调蒙疆的特殊地位，坚持必须保持蒙疆的独立系统，不许德王参加新政权。于是，土肥原只好首先考虑华北、华中两政权的合并。
9月20日，华北和华中两政权的首脑在北平举行会议，决定成立“中华民国政府联合委员会”。22日，联合委员会在中南海勤政殿正式成立。联合委员会设委员6人，王克敏为主席，朱深、温宗尧为常务委员，王揖唐、梁鸿志、陈群为委员。联合委员会《组织大纲》规定：该会主要协议关于交通、电信、邮务、金融、海关、统税、盐务、文教及思想等需要统制之事项。但由于南北两个伪政权及其背后的日军彼此间的争权夺利，联合委员会实际上就连这些方面的权力也未能行使，只是个空架子，不能处理任何实际事务。及至汪精卫集团投敌后，日本对联合委员会逐渐失去兴趣。